解決方案
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半導體
在現代化的晶圓製造車間,數以千計的冷卻以及溫度控製設備7*24小時馬不停蹄地運轉著,為高精度的半導體製造設備提供精密而穩定的工作溫度,以確保停產時間變少。iYTRON 公司為以下半導體製造設備提供訂製化的精密冷卻及溫控方案:
※ 蝕刻設備(etching)※ 化學氣相沉積設備(MOCVD,PECVD)
※ 離子注入機(ion implanting)
※ 自動化測試設備(ATE)
iYTRON 所設計生產的熱控設備在寬泛的運行溫度區間(-80℃ - 150℃)仍能提供異常準確的溫度控製(±0.1℃),同時所有的設備的溫度控製模塊均可基於SEMI S2或者F47標準設計生產。