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冷媒循環冷卻係統 (RCS)

冷媒循環冷卻係統（RCS）主要應用環境特征：

※ 1~10KW的發熱量
※ 客戶端不具備廠務水條件
※ 環境溫度可控
※ 溫控精度要求高

※ 需要極低的工作溫度

RCS係統建議工作原理圖



用於晶圓製造流程前道設備冷卻的RCS係統



iYTRON Arctic係統RCS係統技術參數表：


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